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ACM 리서치, 플라즈마화학증착(PECVD) 장비로 반도체 전공정 분야에 진출한다Big Tech 2022. 12. 27. 12:52
중국 IC 제조사 고객에게 첫 번째 PECVD 장비 납품 예정
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ACM 리서치, 플라즈마화학증착(PECVD) 장비로 반도체 전공정 분야에 진출한다 - IT Times
웨이퍼 처리 솔루션 전문 기업인 ACM 리서치(ACM Research)가 플라즈마화학증착(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 이하 PECVD) 장비 '울트라피맥스팀(Ultra PmaxTM)'을 출시했다고 12일 밝혔다. 울트...
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