SK하이닉스, 메모리 업계 첫 'High NA EUV' 장비 M16 팹 도입

SK하이닉스 이천 M16 (사진=SK하이닉스)

 

SK하이닉스가 3일 이천 M16 팹에 메모리 업계 최초 양산용 'High NA EUV' 장비를 반입하고 기념 행사를 진행했다. 이번에 도입된 '트윈스캔 EXE:5200B' 장비는 기존 EUV(NA 0.33) 대비 40% 향상된 NA 0.55 광학 기술을 적용해 1.7배 정밀한 회로 형성과 2.9배 높은 집적도를 구현한다. SK하이닉스는 이를 통해 공정 단순화, 차세대 메모리 개발 가속화, 제품 성능 및 원가 경쟁력 강화를 추진하며 고부가가치 메모리 시장에서 기술 리더십을 강화할 계획이다.

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